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这是一款环氧类负性光刻胶。具有对比度高、分辨率高、粘度高、深宽比高、以及附着性强等特点,广泛用于微机电系统 (MEMS)制造、相关半导体微电子制造以及其他需要高深宽比的工艺中。
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